原创力文档res2s.04s
H83
备案号：50544-2015
中华人民共和国电子行业标准
SI厅11487-2015
半绝缘半导体晶片电阻率的无接触
测量方法
n-contactmeasurementmethodfortheresistivityofsemi-insulating
em.iconductorwafer
2015-04-30发布2015-10一01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
SJ/T11487-2015
目lj~
本标准按照GB!fl
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