SJ∕T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量.pdf

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ICS29.045

时82

备案号:50548-2015

中华人民共和国电子行业标准

J/T11491-2015

短基线红外吸收光谱法测量

硅中间隙氢含量

Testmethodsformeasurementofinterstitialoxygencontentinsiliconbyshort

baselinein丘aredabsorptionspec仕ometry

2015-04-30发布2015一10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

SJ/T11491-2015

目IJ吕

吃1不忌担识别这些专利的责任。

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