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晶圆异常的共性分析方法及装置、可读存储介质、终端.pdfVIP

晶圆异常的共性分析方法及装置、可读存储介质、终端.pdf

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    一种晶圆异常的共性分析方法及装置，可读存储介质、终端，所述方法包括：遍历各个待分析维度，在任意一个待分析维度下，若有单个待分析对象制造出超过第一预设比例的异常晶圆，且该待分析对象制造的晶圆数量不超过晶圆总数量的第二预设比例，则对该待分析维度的分类共性调制系数进行赋值为第一数值，否则对该待分析维度的分类共性调制系数进行赋值为第二数值，所述第一数值大于第二数值；确定各个待分析维度的差异值；根据每个待分析维度的分类共性调制系数和差异值，确定共性分析系数，以确定共性分析结果。本发明可以获得更全面的共性分

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117272122A

    (43)申请公布日2023.12.22

    (21)申请号202311559707.1

    (22)申请日2023.11.20

    (71)申请人全芯智造技术有限公司

    地址23

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