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- 2023-12-23 发布于四川
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本公开提供能抑制基板与布线之间的漏电流的电子器件。电子器件具有:基板;第一氮化硅膜,设于所述基板之上;氧化硅膜,设于所述第一氮化硅膜之上;电容器,设于所述氧化硅膜之上;以及布线,电连接于所述电容器,所述布线与所述第一氮化硅膜分离,在俯视观察时,所述氧化硅膜的外缘位于所述第一氮化硅膜的外缘的内侧。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117276273A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202310615980.5
(22)申请日2023.05.29
(30)优先权数据
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