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- 2023-12-23 发布于四川
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本申请适用于太阳能电池技术领域，提供了一种太阳能电池及其钝化接触结构、电池组件、光伏系统。钝化接触结构的制作方法包括：在硅衬底上覆盖硬质掩膜，露出目标区域；在目标区域上制作界面钝化层；在界面钝化层上制作掺杂层并在硅衬底形成内扩层。如此，利用硬质掩膜在硅衬底制作界面钝化层、掺杂层和内扩层，形成钝化接触结构，工艺较为简单，耗材较为廉价，有利于降低生产成本和工艺难度，从而提高生产效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117276399A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202310828271.5C23C16/40(2006.01)
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