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用于半导体制造的零死水带旁通阀门.pdfVIP

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  • 2023-12-23 发布于四川
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用于半导体制造的零死水带旁通阀门.pdf

    本发明涉及一种用于半导体制造的零死水带旁通阀门，包括阀体组件及安装在阀体组件上的旁通组件；阀体组件包括阀体；阀体包括主体和连接在主体后端的旁通端；主体的中央设有向上且向右开口的呈直角双通接头状的分隔部，分隔部的底部中央后端设有旁通孔，阀体还设有与旁通孔贯通的出液孔；旁通组件包括旁通隔膜片、阀杆螺母、阀杆、调节螺母和手轮；旁通隔膜片与阀杆前后传动连接，阀杆螺母螺纹旋合在阀杆的螺纹杆部上，再在阀杆向后露出阀杆螺母的螺纹杆部上旋合上调节螺母；阀杆与手轮连接在一起且能共同旋转而相对阀杆螺母前后运动；阀杆

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117267408A

    (43)申请公布日2023.12.22

    (21)申请号202311574475.7

    (22)申请日2023.11.23

    (71)申请人海普瑞（常州）洁

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