一种基于压电传感反馈的自调整智能吸头.pdfVIP

一种基于压电传感反馈的自调整智能吸头.pdf

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本发明提供了一种基于压电传感反馈的自调整智能吸头。本发明包括反馈控制器、底座、压电调节支架、真空发生器接孔、真空发生器、电磁阀、传感层、孔洞层、缓冲层、腔体层。其中主要分为反馈控制器、压电调节支架及传感层等部分,反馈控制器实现传感层信号接收、压电调节驱动等智能信号处理功能,压电调节支架实现调整吸头角度的功能,传感层实现信号接收功能。利用本发明的吸头,一方面可以监测吸取过程的姿态信息并监控吸取效果,另一方面通过反馈调节减小对吸取样品的损害,从而延长吸头使用寿命,提高吸头吸取可靠性,拥有广阔的市场推

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117260582A

(43)申请公布日2023.12.22

(21)申请号202311404663.5

(22)申请日2023.10.27

(71)申请人宏椿智能科技(苏州)有限公司

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