原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开一种下电极组件及离子束刻蚀机，该下电极组件包括多个压环(1)、电极板(2)和固定圈(5)；所述多个压环(1)沿周向间隔设置在所述电极板(2)的上方，每个所述压环(1)通过相应设置的可旋转推杆(3)设置在固定圈(5)上，且所述压环(1)的端部形成与待处理晶圆适配的压抵部；所述压环(1)可由所述可旋转推杆(3)带动转动，以调整其压抵部相对于下电级回转中心的径向距离。应用本方案，可防止机械手在传输的过程中撞击压环的现象；利用每个压环顶点处压边，降低了与晶圆的接触面积，可有效提高晶圆刻蚀的良率
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117276037A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202210663404.3H01L21/687(2006.01)
(22)申请日2022.06
您可能关注的文档
最近下载
- DF11机车常见电器故障处理动车论坛.doc VIP
- 精选7篇带头严守政治纪律和政治规矩，维护党的团结统一“四个带头”发言提纲.docx VIP
- 骨质疏松治疗仪联合地舒单抗治疗骨质疏松性压缩骨折的疗效及其对骨密度.pptx
- 学校风雨体育场（风雨操场）项目可行性研究报告.docx VIP
- 云南省茶叶出口影响因素的实证研究.docx VIP
- 格林童话-走进天堂的裁缝.docx VIP
- 2022版诊所备案信息表.doc
- 实腹式钢吊车梁(中轻级工作制_A1-A5_Q235钢_跨度6.0m、7.5m、9.0m).pdf VIP
- 一带一路背景下云南茶叶出口现状问题及对策.docx VIP
- 蒸汽发生器课程设计.docx VIP
文档评论（0）