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本申请涉及连续式ALN划线片清洗设备，基座开设有第一内腔，第一清洗箱为两个，两个第一清洗箱中一者和另一者、第二清洗箱、第三清洗箱和吹扫机构依次设于基座上、且均位于第一内腔中，抓取机构可移动地设于第一内腔中，上料机构与两个第一清洗箱中一者相对设置，下料机构与吹扫机构相对设置，基座依次设置有多个超声振荡器，多个超声振荡器与两个第一清洗箱中、第二清洗箱和第三清洗箱一一对应。上述方案能够解决相关操作中，氮化铝陶瓷基板在划线清洗后表面的酸液残留、以及在经历两次清洗工序后会有部分浮粉漂浮在清洗介质上，进而导
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117259327A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202311071757.5B08B3/08(2006.01)
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