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本发明公开了一种基于原子力探针参数的自动设置PID方法及装置。该方法包括：1)参数输入；根据探针型号和探针的电信号参数是否需要通过扫频测量，采用不同的探针参数获取方式；2)参数计算；选择探针计算模型和PID估算模型，根据探针参数计算得到模型的方程参数，对已知参数的模型方程进行阶跃函数模拟，依照Simulink模拟结果估算PID参数值；3)PID设置；将设定值与实时监测的电信号值作差得到一个新的值，将该新的值作用到扫描样品台上，即可根据电信号大小对样品台进行实时上下移动控制，以维持进针与扫描平稳运
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117269542A
(43)申请公布日2023.12.22
(21)申请号202311491075.X
(22)申请日2023.11.10
(71)申请人南京大学
地址210023
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