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本实用新型公开了一种高温场均匀性的碳化硅晶体退火设备,包括支撑架和安装在支撑架上的外壳,外壳为空心结构,其内部具有水冷真空腔体;外壳围合形成密封容纳腔,密封容纳腔的上部设置有加热机构,密封容纳腔与真空装置连接;外壳的底部开设有装料口,装料口处安装有装料法兰;外壳的顶部安装有进气空心杆,进气空心杆的中轴线位置处具有进气通道;外壳的顶部安装有用于支撑进气空心杆的磁流体密封件;进气空心杆的上部连接有用于驱动其转动的旋转装置,进气空心杆的下部安装有搅拌叶片。利用该设备可以实现在高温场均匀性的气氛中对碳化
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220224442U
(45)授权公告日2023.12.22
(21)申请号202321159423.9
(22)申请日2023.05.12
(73)专利权人安徽芯享半导光电科技有限公司
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