半导体结构及其形成方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.38万字
约 24页
2023-12-27 发布于四川
举报
版权申诉

半导体结构及其形成方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种半导体结构及其形成方法，半导体结构包括：基底；沟道结构层，悬置于所述基底上方，沿垂直于所述基底表面的方向，所述沟道结构层包括一个或多个依次间隔设置的沟道层，沿所述沟道层的延伸方向，所述沟道层的端部为平面；栅极结构，位于所述基底上方，所述栅极结构横跨所述沟道结构层且包围所述沟道层，所述栅极结构中位于所述基底和相邻沟道层之间、以及位于相邻所述沟道层之间的部分作为第一部分，剩余部分作为第二部分；源漏掺杂层，位于所述栅极结构两侧的所述基底上，且与所述沟道结构层中每个沟道层沿延伸方向的端部相接触；内侧

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117293087A

(43)申请公布日2023.12.26

(21)申请号202210700150.8

(22)申请日2022.06.20

(71)申请人中芯国际集成电路制造（上海）有限

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

用户编号：5333241143000144

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

半导体结构及其形成方法.pdfVIP