YS∕T 1357-2020 磁记录用铬钽钛合金溅射靶材.pdf

ICS77.150.99

H63YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T1357-2020

磁记录用馅钮铁合金溅射靶材

CrTaTialloysputteringtargetusedinmagneticrecording

2020-12-09发布2021-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T1357-2020

~-‘-

目U昌

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会＜SAC/TC243）提出并归口。

本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波科锦新材料有限

公司。

本标准主要起草人：赵浑良、马同戚、哀海军、吴东青、姚力军、T学部、梓欢欢、廖瑞辑、李小萍、苏美凤、

陈勇军、滕海涛、高岩、丁照崇、李利利。

YS/T1357-2020

磁记录用络钮钦合金溅射靶材

1范围

本标准规定了磁记录用铅钮铁合金溅射靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、

包装、运输、贮存、质贵证明书和订货单（或合同〉内容。

本标准适用于6英寸～8英寸垂直磁记录硬盘、磁盘用锚钮铁合金靶材。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的Jii悍，仅注口期的版木适用f本文

件。凡是不注H期的引用文世件。

GB/T1031产品几衍

参数及其数值

GB／τ3850致密烧

GB/T8651金Jr.rj

YS/T899

3术语和定义

下歹rj术语和定义适用于本．

3.1

靶材U咆et

在溅射沉积技术巾的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式

脱离阴极而在衬底表面沉积。

4技术要求

4.1产品形状

产品形状通常为圆形，或由需方提供图纸。

4.2化学成分

4.2.1产品的主成分含量要求应不小于99.95%。

4.2.2产品的化学成分应符合表l的规定。

表1化学成分

CrTaTi

牌号

37.25士o.65

Cr含量（质量分数〉／%

YS/T1357-2020

表1化学成分（续）

47.15士0.78

Ta含量（质量分数）／%