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- 2023-12-28 发布于四川
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本发明公开了一种用于存储芯片CP测试机的监测控制系统,属于晶圆测试技术领域,具体包括电源机柜,为系统提供基础直流电源;所述电源机柜内集成有主控板卡作为系统控制中心;所述主控板卡通过电源机柜监控板卡接口和测试机头的高密度接口板卡接口相连;测试机头,用于为被测晶圆提供测试所需的数字电源信号,测试机头内部的功能模块通过cable与高密度接口板卡相连;探针台,用于控制探针卡的上卡与退卡,晶圆的取送,以及测试环境温湿度设置;Hi‑Fix,用于把测试机头内部的测试信号和探针卡连接起来,通过探针卡实现和晶圆的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117290189A
(43)申请公布日2023.12.26
(21)申请号202311584784.2
(22)申请日2023.11.27
(71)申请人悦芯科技股份有限公司
地址23
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