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双重保护供气管路及晶圆加工设备.pdfVIP

双重保护供气管路及晶圆加工设备.pdf

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    本实用新型揭示了双重保护供气管路及晶圆加工设备，其中双重保护供气管路，包括气源、与气源的出气口连接的主气道，主气道上设置有检测传感器，主气道通过第一保护气管连接第一储气容器，第一保护气管上设置有控制其通断的自动阀门；主气道还通过第二保护气管连接第二储气容器，第二保护气管与主气道的第一连接点位于所述第一保护气管与主气道的第二连接点的下游。本实用新型在气源突然断气或异常时，第二储气容器中缓存的压缩气体能够自动释放，可以在第一储气容器的压缩气体供应前提供了足够的缓存保护，并且，两个储气容器同时供气能够

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220249678U

    (45)授权公告日2023.12.26

    (21)申请号202321748950.3

    (22)申请日2023.07.05

    (73)专利权人江苏京创先进电子科技有限公司

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