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一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法.pdfVIP

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  • 2023-12-28 发布于四川
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一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法.pdf

    本发明公开了一种超稳光学参考腔支撑调节装置及其调节方法，包括真空腔室以及设置在真空腔室内用于支撑超稳光学参考腔的腔体支架，腔体支架的截面为U型结构，包括底部的弧面板和设置在弧面板上的两支撑面板，支撑面板的顶部两端均开设有滑槽，每个滑槽内均设置有一可滑动的滑块，且滑块上设置有用于支撑超稳光学参考腔的腔体支撑垫，四个腔体支撑垫的顶面位于同一水平面，所述腔体支架的弧面板上放置有一腔体竖直运动支撑；在保证高真空不泄露的条件下，采用5个直线推进器实现无需开封真空腔室的情况下，纯机械调节，保证超稳光学参考腔

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN109884763A

    (43)申请公布日

    2019.06.14

    (21)申请号20191

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