1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

UV箱及晶圆加工设备.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约7.96千字
  • 约 9页
  • 2023-12-28 发布于四川
  • 举报

UV箱及晶圆加工设备.pdf

    本实用新型揭示了UV箱及晶圆加工设备，其中UV箱包括箱体，所述箱体的顶部设置有进出口，所述箱体上设置有使所述进出口通断的门板，所述门板可平移地架设在两条平行的第一导轨上，两条所述第一导轨设置于所述箱体相对的两侧内壁处，所述箱体内还设置有驱动所述门板沿所述第一导轨移动的第一驱动器，所述第一驱动器设置在所述箱体内的安装板上且其连接在所述门板宽度方向的中间位置。本实用新型使门板的两侧架设在第一导轨上，使驱动器连接在门板的中间位置，驱动器的驱动力能够均衡的施加到门板上，从而使门板两侧的受力相当，这样能够

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220253186U

    (45)授权公告日2023.12.26

    (21)申请号202321778774.8

    (22)申请日2023.07.07

    (73)专利权人江苏京创先进电子科技有限公司

    地

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >