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一种复合型谐振器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-12-28 发布于四川
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一种复合型谐振器及其制备方法.pdf

    本发明提供了一种复合型谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域。该复合型谐振器包括衬底、过渡层、底电极、压电层和顶电极，衬底的顶面设有相互隔绝的内槽和外槽，外槽包围内槽且外槽填充有声波反射材料；过渡层为衬底的上层并通过覆盖内槽以构成空腔；底电极为过渡层的上层；压电层为底电极的上层；顶电极为压电层的上层。本发明的复合型谐振器能够使压电层更多区域被有效利用，由此提高器件的利用率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117294278A

    (43)申请公布日2023.12.26

    (21)申请号202311583548.9

    (22)申请日2023.11.24

    (71)申请人广州市艾佛光通科技有限公司

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