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一种旋涂辅助装置和旋涂设备.pdfVIP

一种旋涂辅助装置和旋涂设备.pdf

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    本实用新型公开了一种旋涂辅助装置和旋涂设备，属于半导体技术领域。所述旋涂辅助装置包括：底座；电磁搅拌机构，设置在所述底座上；溶液存储泵室，设置在所述电磁搅拌机构上；溶液管道，所述溶液管道的输入端与所述溶液存储泵室连通；雾化喷头，与所述溶液管道的输出端连接；以及滴定喷头，与所述溶液管道的另一输出端连接。通过本实用新型提供的一种旋涂辅助装置，改善了溶液进行旋涂时的效果。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220239014U

    (45)授权公告日2023.12.26

    (21)申请号202321628193.6

    (22)申请日2023.06.25

    (73)专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司

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