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- 2023-12-28 发布于四川
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本发明涉及半导体生产技术领域，尤其是一种芯片除尘设备，包括箱体；所述箱体的两侧均开设有物料口；所述箱体的内部固连有多个均匀设置的隔板；所述隔板的表面滑动连接有多个均匀设置的托盘，且托盘的侧壁开设有多个均匀设置的开口；所述箱体的侧壁于隔板顶部均固连有导气管；所述箱体的一侧固连有输气组件；所述输气组件用于向导管内通入空气；所述导气管靠近托盘的一侧固连有多个均匀设置的出气管，且出气管与导气管连通；所述箱体的底部安装有多个均匀设置的驱动轮，通过出气管向着芯片表面吹出空气，芯片表面不会粘附的灰尘，同时吹走
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117282723A
(43)申请公布日2023.12.26
(21)申请号202311573821.X
(22)申请日2023.11.23
(71)申请人江苏永鼎股份有限公司
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