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本公开实施例提供一种射频引出氢氦高能离子注入机，涉及半导体离子注入技术领域。该射频引出氢氦高能离子注入机的具体实施方式包括：射频引出电极的交变电压由射频电源和第一射频加速单元产生，交变电压周期性地从离子源中引出离子束，速度的离散引起离子束在Z向传输方向上产生周期性群聚，通过第一束流整形电四极透镜和第二束流整形电四极透镜整形后，传输给射频加速系统，经射频加速系统加速到高能量状态的离子束传输至能量分析器进行筛选，通过电场扫描系统展开能量分析器筛选之后的离子束，再经由束流平行化透镜产生平行的离子束流，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117293006A
(43)申请公布日2023.12.26
(21)申请号202311591496.X
(22)申请日2023.11.27
(71)申请人青岛四方思锐智能技术有限公司
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