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- 2023-12-28 发布于四川
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本发明公开了一种信号同步控制电路和光芯片的晶圆测试系统,该信号同步控制电路包括:控制模块、通信输入端口、通信输出端口、信号采集端口、脉冲信号输出端口;控制模块分别与通信输入端口、通信输出端口、信号采集端口和脉冲信号输出端口连接;控制模块用于接收通信输入端口传输的第一控制指令,并根据控制指令向通信输出端口发送驱动控制指令,同时实时接收信号采集端口采集的反馈信号,根据反馈信号向脉冲信号输出端口发送脉冲触发信号。本发明的技术方案,提高了二维光强耦合的扫描速度,减小了光纤平移台移动过程中的累计误差。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117289641A
(43)申请公布日2023.12.26
(21)申请号202311585602.3
(22)申请日2023.11.27
(71)申请人上海孛璞半导体技术有限公司
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