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2023-12-28 发布于四川
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本实用新型提供一种电容器及电容模组，所述电容器包括：衬底，所述衬底的一个表面内具有多个沟槽阵列；所述多个沟槽阵列由多个沟槽沿至少两个不同的方向相间排列形成；所述多个沟槽的底部、侧壁以及相邻沟槽间的衬底的表面上具有介质层；至少两个电极层，所述电极层之间具有介质层，且上层的电极层依次覆盖下层的电极层表面的介质层；最下层的所述电极层位于所述衬底的介质层表面上且覆盖所述多个沟槽的底部、侧壁以及相邻沟槽间的衬底的表面。该电容器的衬底表面内具有多个沿不同方向排列的沟槽阵列，上面依次覆盖多个电极层，可以在有限

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220253050U

(45)授权公告日2023.12.26

(21)申请号202321026293.1

(22)申请日2023.04.28

(73)专利权人上海朗矽科技有限公司

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