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本发明公开了半导体技术领域的一种场板结构氧化镓场效应晶体管及其制备方法，包括以下结构：氧化镓衬底层；氧化镓衬底层上表面的氧化镓外延层；氧化镓外延层上表面的Mg掺杂氧化镓层、源电极和漏电极；覆盖于Mg掺杂氧化镓层和部分氧化镓外延层上表面的栅介质层，以及位于栅介质层上表面的栅电极。本发明提出了用Mg掺杂再生长的氧化镓代替二氧化硅或氮化硅非晶绝缘介质，实现高击穿和高稳定的氧化镓场效应晶体管。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117317021A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311535237.5H01L29/06(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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