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本说明书实施例提供了一种确定晶圆良率的方法和装置。该方法的一具体实施方式包括：获取目标晶圆上的各管芯在不同检测阶段产生的多个检测数据，其中，各检测数据包括检测阶段、检测类型和检测结果；获取预先训练的噪声网络模型，所述神经网络模型的输入层包括N个输入节点，中间层包括伪节点和与N个输入节点一一对应连接的N个激活节点，其中伪节点不与输入节点连接，且中间层的各个节点均连接到输出层。对于目标晶圆上的各管芯，将该管芯的多个检测数据中的检测结果按照预设顺序输入所述N个输入节点以进行模型处理，通过输出层预测得到
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117313940A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311295180.6G06N3/084(2023.01)
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