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2023-12-30 发布于四川
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物镜透射波前检验装置.pdf

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本实用新型公开了一种物镜透射波前检验装置，包括：安装于光学平台上的干涉仪；标准平面参考镜，其安装于干涉仪出射端口；二维调整架，其安装于光学平台上，物镜安装于二维调整架上；五维调整架，其安装于光学平台上；标准球面反射镜，其安装于五维调整架的迎光面；远端平面基准镜，其安装于五维调整架的迎光面，标准球面反射镜的安装端面与远端平面基准镜的迎光面共面；其中，标准平面参考镜、物镜、标准球面反射镜、远端平面基准镜沿干涉仪出光方向依次水平排列。本装置通过流程优化和减少相应自由度，降低了装调难度；通过减少硬件的数

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220270757U

(45)授权公告日2023.12.29

(21)申请号202321980094.4

(22)申请日2023.07.26

(73)专利权人睿励科学仪器（上海）有限公司

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