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本申请公开一种碳化硅外延设备,该碳化硅外延设备包括:壳体,壳体的顶部具有喷淋部件;隔离部件,其设于壳体内;内筒,其设置于壳体内;保温层,其设于内筒与所述隔离部件之间;至少一组加热组件,其设于内筒的外周壁与保温层的内壁之间;保温层包括依次沿壳体的轴向排布的第一保温层、第二保温层及第三保温层,其中第一保温层靠近喷淋部件侧;第一保温层内包括至少两个隔热层板,隔热层板之间形成供气体流动的流道。通过对加热区域采用不同控温方式使壳体内部环境保持稳定,通过不同部位的保温结构设计来解决壳体内部的温度场稳定性问题
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117305978A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311075448.5C30B25/12(2006.01)
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