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本申请公开了一种金属隔膜阀，涉及阀门技术领域。本申请的一种金属隔膜阀，包括阀体、阀槽、膜片、执行器、阀腔、流路，流路具有与阀腔连通的流路口，阀腔内设有阀座，阀座呈环形且绕设于流路口的周侧，阀座上沿其环绕方向开设有安装槽，安装槽内嵌设有软质的阀芯，阀芯突出安装槽设置。本申请的金属隔膜阀，其利用阀芯替代现有技术中的阀座一，通过阀座对阀芯进行保护，使得流体在通过流路时仅能够与阀芯的突出端接触，减少了流体对阀芯的冲刷，减轻了阀芯的磨损和老化，提升了CV值的稳定性；同时，将阀芯容置于安装槽内，安装槽的槽壁
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117307799A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202311332494.9
(22)申请日2023.10.14
(71)申请人昆山新莱洁净应用材料股份有限公
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