微机电系统谐振器及微机电系统振荡器.pdfVIP

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2023-12-30 发布于四川
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本申请提供的微机电系统谐振器以及微机电系统振荡器，包括谐振结构、驱动电极、感测电极以及隔离电极。其中，对应的驱动电极和感测电极被配置为至少两对，位于同一侧之相邻的驱动电极和/或感测电极之间设置有隔离电极。在本申请实施例中，将隔离电极设置于位于同一侧之相邻的驱动电极和/或感测电极之间，从而可以抑制驱动电极和/或感测电极之间的电容耦合，从而可以避免驱动电极和/或感测电极之间形成较大的馈通电容，进而能够保证感应信号的完整性，提升用户的使用体验。

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220273651U

(45)授权公告日2023.12.29

(21)申请号202320391047.X

(22)申请日2023.02.23

(73)专利权人麦斯塔微电子（深圳）有限公司

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