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本申请公开了一种半导体硅片防掉落装置，包括防掉篮以及设置在防掉篮上方的晶托，所述防掉篮包括两个相对设置的U型篮侧挡板，两侧所述U型篮侧挡板之间连接有若干呈弧形分布的支撑杆，所述支撑杆上并排放置有若干硅片，两侧所述U型篮侧挡板的上端均设有可转动的连接板且两侧所述连接板分别与防掉篮的两侧可拆式连接。本申请与现有技术相比的优点在于：本申请结构简单、成本低、易操作，可有效防止硅片脱落而造成的损失，可避免的硅片脱落而造成的极大经济损失。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220272435U
(45)授权公告日2023.12.29
(21)申请号202321011402.2
(22)申请日2023.04.28
(73)专利权人磐石创新（江苏）电子装备有限公
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