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三坐标测量机实验

一、实验目的

了解三坐标测量机的结构、原理和应用，熟悉检测过程并且掌握基本使用方法。

二、实验设备

1.规格

测量范围：x-600mm、y-450mm、z-300mm

分辨率：0.001mm

结构形式与特征：固定桥式、气浮导轨、花岗岩工作台

测量系统：金属反射式光栅

测量精度：各轴(3+3L/1000)um（L-测量长度）

重复性：σ=1um

控制方式：手动，用手可轻快地将测量头移动到测量点上，x，y方向微动可用马达驱

动。

探针形式：机械硬测头和3D信号触头。

2.仪器构造与组成

如图所示的测量机由底座、工作台、立柱、xyz导轨组成，配有微型计算机数据处

理装置，由打印机输出测量结果，绘图仪绘制轮廓图形，还有各种探头，另配有电感测

微仪以及检具和工具等。

3.仪器特征

1）X、Y、Z三条导轨组成桥式结构。采用空气静压导轨，当供气压力保持恒定时，

在导轨面间形成的气垫间隙保持不变，导轨运动时几乎无摩擦，轻便灵活且稳定性