一种MEMS高g值加速度计的动态性能调节方法及系统.pdfVIP

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2024-01-03 发布于四川
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一种MEMS高g值加速度计的动态性能调节方法及系统.pdf

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本发明提供一种MEMS高g值加速度计的动态性能调节方法及系统，涉及加速度传感器设计技术领域，该方法包括建立MEMS高g值加速度计模型；计算所述MEMS高g值加速度计模型的阻尼比来反映动态性能；判断所述动态性能是否符合需求，若符合，则模型不需要改进，若不符合，则根据质量块表面积大小和是否允许加速度计除动态性能外的其他性能改变选择对应的改进策略；根据改进策略和实际动态性能需求，利用动态性能反馈公式得到h1~h4的确定值，最终根据h1~h4的确定值完成MEMS高g值加速度计的制备。本发明在不改变加速度

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117332623A

(43)申请公布日2024.01.02

(21)申请号202311632983.6

(22)申请日2023.12.01

(71)申请人苏州亿波达微系统技术有限公司

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