原创力文档- 2
- 0
- 约5.82千字
- 约 7页
- 2024-01-03 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种自然循环立式四氯化硅汽化系统，属于多晶硅生产技术领域。该系统包括四氯化硅汽化器和四氯化硅气液分离罐，所述四氯化硅汽化器的底部与氢气进料管线相连，四氯化硅汽化器的顶部通过四氯化硅汽化器出口管线与四氯化硅气液分离罐的中部相连，四氯化硅气液分离罐底部的输出端与四氯化硅汽化器的底部相连，四氯化硅气液分离罐的上部还与液相四氯化硅管线相连。本实用新型针对冷氢化工艺中存在的四氯化硅汽化温度高，釜式换热器震动严重的缺点，采用该方法及装置能够有效减少能耗，保证装置平稳运行。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220283633U
(45)授权公告日2024.01.02
(21)申请号202321473798.2
(22)申请日2023.06.09
(73)专利权人中石化南京工程
文档评论（0）