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本发明涉及复合钨氧化物膜及其制造方法以及具有该膜的膜形成基材和物品。该复合钨氧化物膜是以通式MxWyOz所表示的组成为主成分的复合钨氧化物膜，其中，M是从除Na以外的碱金属、碱土金属、Fe、Tl、Sn中选择的1种以上的元素，W是钨，O是氧，所述复合钨氧化物膜的特征在于，0.001≤x/y≤1、2.2≤z/y≤3.0，实质上不含有机物成分，是波长550nm时的透过率为50％以上、波长1400nm时的透过率为30％以下、并且波长1400nm时的反射率为35％以上的溅射膜和热处理膜，薄膜电阻小于105
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117326592A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311298716.XC23C14/08(2006.01)
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