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本发明提供了一种基于超表面的多通道多功能激光光束质量检测系统,涉及激光光束质量检测技术领域,包括耦接在入射光源和光斑采集装置之间的光束质量检测通道,光束质量检测通道设有光学组件和通光孔选择模块,光学组件用于对入射光源的光束直径和光强进行调节以生成待测激光,通光孔选择模块具有多个通光孔,光斑采集装置用以采集待测激光通过任一通光孔后的入射光斑;部分通光孔设有超表面剪切板,超表面剪切板用于将待测激光分为两束同向传播的发散光束和汇聚光束,发散光束与汇聚光束重合处可产生干涉。本发明通过多种激光光束质量参数
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117330181A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311634205.0
(22)申请日2023.12.01
(71)申请人中国工程物理研究院应用电子学研
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