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一种MEMS一体式石英谐振式加速度传感器芯片，包括固定框架及其内部的质量块；质量块的x轴方向即芯片敏感方向的两端分别经第一连接框、第二连接框和固定框架连接，质量块y轴方向的两端经解耦梁与固定框架连接；第一连接框y轴方向内部两端与第一谐振器连接；第二连接框y轴方向内部两端与第二谐振器连接；第一谐振器、第二谐振器作为敏感元件，固定框架、质量块、第一连接框、第二连接框、解耦梁作为弹性元件，敏感元件和弹性元件均为一次加工得到的一体式结构；本发明采用一体式芯片结构，采用一体式芯片结构，具有加工工艺简单、芯
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117330782A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311375653.3
(22)申请日2023.10.23
(71)申请人西安交通大学
地址710049
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