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一种显示面板生产过程中药液浓度控制装置和方法.pdf

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    本发明涉及一种显示面板生产过程中药液浓度控制装置和方法，所述装置包括药液罐组、补液泵组、混液泵组、混液管组、光谱传感器、光谱运动装置、原液罐和废液罐，原液罐、药液罐组、废液罐顺次设置；药液罐组由若干药液罐组成，补液泵组由若干补液泵组成，混液泵组由若干混液泵组成，混液管组由若干混液管组成；原液罐与药液罐之间、相邻药液罐之间、药液罐与废液罐之间分别通过相应的补液泵连通，单个药液罐通过相应的混液泵、混液管连通循环。本发明对显示面板生产过程中的蚀刻药液实现浓度精确测量、罐内充分混匀、罐间精准补充，最终对

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117331380A

    (43)申请公布日2024.01.02

    (21)申请号202311300396.7

    (22)申请日2023.10.09

    (71)申请人柏麦斯（深圳）科技有限公司

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