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本实用新型公开出入料总成，包括底板、以及均连接在底板上的托盘架、载具架、第一移载机、第二移载机、翻转机构、移动平台；所述翻转机构包括两个铰接的托盘基板和载具基板，用于夹持和运输托盘的所述第一移载机与用于夹持和运输载具的所述第二移载机分别位于翻转机构的两侧，所述托盘架与所述载具架位于所述翻转机构一端，所述移动平台位于所述翻转机构的另一端；所述载具架上的载具包括多个芯片孔位。本实用新型还公开批量化学处理设备。本实用新型的有益效果：通过翻转机构实现芯片在托盘和载盘治具之间的转移，载具可以同时放置多个芯
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220282780U
(45)授权公告日2024.01.02
(21)申请号202321834399.4
(22)申请日2023.07.12
(73)专利权人安徽威保通半导体设备有限公司
地
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