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- 2024-01-03 发布于四川
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本实用新型提供了一种中高频加热式硅氧负极预锂化及CVD一体化装置,所述一体化装置包括炉管、进料区、收集区、加热单元、气源单元、升降单元和电控单元。炉管能够正反转动,且其内部置有搅拌片以控制物料走向;电控单元位于炉管下方,被配置为一体化装置的总控制中心;进料区与炉管的入口管连接以进行喂料;收集区与炉管的出口管连接;加热单元环绕于炉管外侧对炉管采用中高频感应加热升温;气源单元与炉管的出口管连接,向炉管提供碳源气;升降单元位于炉管的入口处下方,通过调节炉管内反应区的水平角切换反应流程使预锂化及CVD工
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220290841U
(45)授权公告日2024.01.02
(21)申请号202321468140.2C23C16/44(2006.01)
(22)申请日2023.06.
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