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一种集成光源的MEMS振镜，其整体是采用半导体工艺制备的芯片，包括旋转衬底晶圆，在旋转衬底晶圆的上表面设置有发光单元，在整个旋转衬底晶圆上表面覆盖保护层且发光单元位于旋转衬底晶圆上表面和保护层下表面之间；在保护层上表面依次叠加调向层一，调向层二以及匀光层；匀光层上表面设置有出光孔；匀光层表面出射光束，旋转衬底晶圆可以工作在谐振状态与静态状态，对目标表面进行扫描；本发明实现了发光单元在MEMS振镜上的集成，大幅度减小了体积，降低了功耗，消除了装配带来的元件损失和误差，还能够根据具体扫描场景需求，确
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117331212A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311634061.9
(22)申请日2023.12.01
(71)申请人西安知象光电科技有限公司
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