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本发明公开了一种叠层成像扫描位置误差校正方法，包括以下步骤：步骤一、初始猜测物函数和探针函数，并在初始扫描位置下，将实验采集到的衍射图像代入重建算法中迭代s次；步骤二、随机生成粒子坐标，并利用粒子坐标替换初始坐标，计算每个粒子的衍射图像和采集的衍射图像之间的相关系数，寻找个体最优位置和全局最优位置，利用量子粒子群算法更新每个粒子的位置，并将全局最优位置代入重建算法中迭代，重复计算直至满足预设总校正次数。本发明能够提高校正扫描位置误差的准确性，避免算法陷入局部最优，解决重建图像中出现周期性网格的问
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117333540A
(43)申请公布日2024.01.02
(21)申请号202311338916.3
(22)申请日2023.10.17
(71)申请人江苏科技大学
地址212000
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