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提供新的小直径晶片的制造方法,能够提高生产率,同时也能够抑制品质的降低。该小直径晶片的制造方法包含如下的工序:保护部件包覆工序,在具有一个面和另一个面并且一个面被加工成镜面的晶片的一个面上包覆第1保护部件,在晶片的另一个面上包覆第2保护部件;切出工序,从包覆有第1保护部件和第2保护部件的晶片切出多个小直径晶片;倒角工序,对小直径晶片的外周部进行倒角;以及保护部件去除工序,将第1保护部件和第2保护部件从小直径晶片去除。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109786325A
(43)申请公布日
2019.05.21
(21)申请号20181
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