2023年大直径硅单晶及新型半导体材料项目建设方案.docx

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大直径硅单晶及新型半导体材料项目建设方案

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大直径硅单晶及新型半导体材料项目建设方案

目录

TOC\h\z6415序言 3

26757一、经济影响分析 3

7967(一)、经济费用效益或费用效果分析 3

9102(二)、行业影响分析 5

6142(三)、区域经济影响分析 7

1575(四)、宏观经济影响分析 8

10029二、大直径硅单晶及新型半导体材料项目概论 10

22474(一)、项目申报单位概况 10

18514(二)、项目概况 11

30544三、环境和生态影响分析 14

4485(一)、环境和生态现

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