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储片盒吹扫组件和储片盒装置.pdfVIP

储片盒吹扫组件和储片盒装置.pdf

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    本发明提供一种储片盒吹扫组件，用于对储片盒进行吹扫，储片盒吹扫组件包括壳体，该壳体上形成有用于输入吹扫气体的进气口和多个用于向储片盒输出吹扫气体的出气口，其中，每个出气口的出气面积可调。在本发明提供的储片盒吹扫组件中，多个出气口的出气面积可调，可通过调节各个出气口的出气面积，消除出气口所吹出气流流速之间的差异，使得储片盒各高度位置的气流流速相等，从而缓解晶片表面的颗粒污染，提高储片盒出气体的去除效率。本发明还提供一种储片盒装置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111681977A

    (43)申请公布日

    2020.09.18

    (21)申请号20201

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