基于双面键合工艺的衍射光波导制备方法.pdfVIP

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2024-01-06 发布于四川
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基于双面键合工艺的衍射光波导制备方法.pdf

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本发明提供了一种基于双面键合工艺的衍射光波导制备方法，在由键合材料形成基板的上下表面分别通过沉积键合的方式形成第一材料层和第二材料层，作为全反射波导介质层，采用双面键合方式，且基于轻薄化的要求，能够自由调控不同材料层的厚度；由于材料一和材料二的可选择性，可基于光线在材料内的全反射属性选择材料一和材料二的折射率，如两者的折射率较键合材料大，且材料一和材料二的折射率可不同，基于此，改善衍射光波导的视场成像效果，改变视场大小，并根据不同的要求可选择不同折射率的第一光栅结构层和第二光栅结构层的材料，选择

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117348146A

(43)申请公布日2024.01.05

(21)申请号202311646082.2

(22)申请日2023.12.04

(71)申请人上海鲲游科技有限公司

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