2024年清溢光电分析报告:面板掩膜版国产替换进行时,扩产半导体打开成长空间.pdf

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掩膜版:光刻工艺的关键材料3

平板显示掩膜版:国产替换进行时11

半导体掩膜版:本土晶圆厂扩产提升替代空间17

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掩膜版:光刻工艺的关键材料

掩膜版(Photomask)又称光罩,是微电子加工技术常用的光刻工艺所使用的图

形母版,功能类似于传统照相机的“底片”,是承载图形设计和工艺技术等知识产权信

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为例,利用掩膜版的曝光掩蔽作用,将设计好的TFT阵列和彩色滤光片图形按

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