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本发明提供一种电子级磷化氢提纯系统及方法，该系统包括原料罐，原料罐通过输送管线依次与吸附单元A、吸附单元B、吸附单元C、脱重单元T1、脱轻单元T2、产品预冷器以及产品中间罐连接，脱重单元T1包括第一精馏塔，第一精馏塔顶部设有第一冷凝回流器，底部设有第一再沸器，吸附单元C通过输送管线与第一精馏塔中部连接，脱轻单元T2包括第二精馏塔，第二精馏塔顶部设有第二冷凝回流器，底部设有第二再沸器，第一精馏塔顶部通过输送管线与第二精馏塔中部连接，第二精馏塔底部与产品预冷器连接。该系统和方法可有效去除工业磷化氢中
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117339340A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311225465.2B01D3/32(2006.01)
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