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本发明公开了一种制作超二代多碱光电阴极时钠锑共蒸锑过量时的处理方法，在制作工艺过程中检测光电流，若光电流低于1500nA则判断为基底层钠锑共同蒸镀时锑过量，进行如下处理：接通蒸Na电源，将蒸钠电流调到初始值；按400mA/min的速率递增蒸钠电流，当检测到光电流出现上升或者下降时，停止增加蒸钠电流并保持当前的蒸钠电流；一分钟后打开蒸锑电源；将蒸锑电流调到初始值，按500mA/min的速率递增蒸锑电流；当检测到光电流上升或下降时，在30秒内先关闭蒸锑电源；一分钟后关闭蒸钠电源，进入下一步工艺。本发
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117352351A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311260414.3
(22)申请日2023.09.27
(71)申请人北方夜视技术股份
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