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本发明涉及一种晶圆处理装置，至少包括能够载置晶圆的负载锁定腔或片腔、传输腔及能够对晶圆进行处理的处理腔，传输腔设有用于传输晶圆的机械手，机械手包括多级机械臂、连接于末级机械臂的输运手指及末端调节系统，末级机械臂的前级机械臂至少包括沿竖直方向延伸的第一转动轴，第一转动轴能够带动末级机械臂绕第一转动轴的轴心线在水平面内转动，其中，末级机械臂和前级机械臂之间，或末级机械臂和输运手指之间设有水平延伸的第二转动轴，第二转动轴垂直于输运手指延伸方向；末端调节系统包含传感组件及调节组件，以基于输运手指是否发生
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117352456A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311276738.6
(22)申请日2023.09.28
(71)申请人无锡先为科技有限公司
地址21
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