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本发明提供一种太赫兹检测装置及检测方法。本发明可通过太赫兹芯片的片上微带谐振单元接收太赫兹信号实现谐振。穿过侧壁通孔置于矩形波导内部的待测溶液，对片上微带谐振单元谐振频率产生扰动。待测溶液的不同浓度改变谐振区域的空间电磁场，在不同空间电磁场下，片上微带谐振单元的谐振频率不同。本发明实施例可基于待测溶液的浓度大小对谐振频率的影响大小确定待测溶液浓度。相对于现有谐振腔检测方式，一方面，片上微带谐振单元的谐振频率提升不受谐振单元尺寸限制，可在提升工作频率的同时应用于大尺寸的溶液浓度检测。另一方面，片上
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117347307A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311279691.9
(22)申请日2023.09.28
(71)申请人中国电子科技集团公司第十三研究
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